Som vi alle vet, er det bare én produsent i verden som kan produsere EUV-litografi, det er Nederland ASML.
Og grunnen til at verdens eneste, dette er fordi ASML vil være mange nøkkelprodusenter samlet sammen, slik som det tyske optikkselskapet Zeiss (Zeiss), og deretter USA Cymer, og deretter den tyske Tom Fast Group (TRUMPF) ) og så videre.
ASML har knyttet disse produsentene til sin vogn gjennom investering, oppkjøp, eierandel, etablering av forskningssentre og så videre, og disse produsentene, sannsynligvis de eneste produsentene i verden som kan produsere disse produktene, så til syvende og sist er det bare ASML som er i stand til å produsere EUV litografi i verden.
Imidlertid løp en nøkkelforsyningskjede av ASML nylig til Shenzhen, Kina for å bygge en fabrikk, og Shenzhen-datterselskapet slo seg ned i Baoan Sino-German (Europe) Industrial Demonstration Park.
Denne produsenten er Tysklands Tom Fast Group (TRUMPF), det er ASMLs EUV-litografi, verdens eneste laserkildeleverandør.
TRUMPF-produkter i EUV-litografien, hvor viktig? Først, la meg forklare prinsippet for EUV-litografi, du vil forstå.
Prinsippet for EUV-litografi, for å si det enkelt, er sentrert om tre hovedsystemer, EUV UV-lyskildesystem, objektivlinsesystem og bordsystem.
Den spesifikke prosessen er å bruke laseren til å eksitere en 13,5 nm bølgelengde av ekstremt ultrafiolett lys, og deretter etter korrigering for å danne en kontrollert lysstråle, og deretter projiseres denne lysstrålen på fotomaskebordet, og deretter projiseres gjennom objektivet speil til eksponeringsbordet, og etset til slutt ut kretsen på silisiumplaten belagt med fotoresist.
Hvordan et av EUV UV-lyskildesystemene oppnås er ved å bombardere en tinn (Sn) metalldråpe med en 30 kW kraft CO2-laser, fordampe den til et plasma, og til slutt oppnå 13,5 nm bølgelengde EUV-lyset.
Denne 30 kW CO2-laseren er levert av TRUMPF, den eneste i sitt slag i verden.
Ikke undervurder denne CO2-laseren, den har 457 329 deler, kabellengden i systemet er opptil 7 322 meter, og vekten er 17 090 kg, som er en av de viktigste kjernekomponentene i EUV-litografi.
Nå TRUMPF løp til Kina for å bygge en fabrikk, intensjonen er klar, det vil si optimistisk om det kinesiske lasermarkedet, og enda mer langsiktig syn, optimistisk om det kinesiske litografimarkedet, kan fremtiden samarbeide med Kina for å bygge EUV litografi .
Faktisk er det allerede mer enn én ASML-forsyningskjede som kjører til Kina for å bygge en fabrikk, før det er KMWE og andre produsenter, også til Kina for å bygge en fabrikk.
I henhold til den nåværende trenden, kan vi optimistisk forvente at det ikke kan være lenge før Kinas litografiteknologi vil være et stort skritt fremover, og til og med volumet av output EUV litografi, kan også se frem til, tror du?
